位置重覆精度:±0.002(mm) 最大推力:1532(N) 連續推力:340(N) 連續可搬重量:120(kg) 標準行程: 單動子: 203-3019/64間隔(mm) 雙動子: 429-3053/64間隔(mm) 最高速度:3500(mm/s)