最新活动 发布时间:2025-02-04
XY共面气浮平台CAB-XY300XY共面气浮平台CAB-XY300具备奈米级的定位精度,重复定位精度可达±0.25μm,绝对(补偿)精度可达±0.5μm,适合於需要高精度测量和精準对位的行业,如Micro LED、半导体AOI、PCB检测、自动化精密量测和雷射切割。平台的XY轴都在同一平面上运作,避免了堆迭误差,提供一致的平面基準,从而提高整体平面度与精度。这种共面式设计结构稳定刚性强,减少了震