位置重覆精度:±0.002(mm) 最大推力:1128(N) 連續推力:251(N) 連續可搬重量:90(kg) 標準行程: 單動子: 203-3019/64間隔(mm) 雙動子: 429-3052/64間隔(mm) 最高速度:3500(mm/s) * 連續可搬重量為線速度1m/s,最大加速度5m/s²固定行程來回,不同情況會有不同。