工作範圍X*Y軸 (mm)：500*500 工作範圍Z軸(mm)：100 可搬運最大荷重X軸(kg)：15 可搬運最大荷重Z軸(kg)：8 點對點驅動X*Y軸(mm/s)：1000 點對點驅動Z軸(mm/s)：500 連續路徑驅動X*Y*Z合成速度(mm/s)：900 位置重覆精度X*Y軸(mm)：±0.005 位置重覆精度Z軸 (mm)：±0.005
