工作範圍X*Y軸 (mm)：500*500 工作範圍Z軸(mm)：100 可搬運最大荷重X軸(kg)：12 可搬運最大荷重Z軸(kg)：6 點對點驅動X*Y軸(mm/s)：500 點對點驅動Z軸(mm/s)：250 連續路徑驅動X*Y*Z合成速度(mm/s)：400 位置重覆精度X*Y軸(mm)：±0.01 位置重覆精度Z軸 (mm)：±0.01
