位置重複精度：±0.002(mm) 最大推力:713(N) 連續推力:158(N) 連續可搬重量:54(kg) 標準行程: 單動子: 202-3018/64間隔(mm) 雙動子: 320-3008/64間隔(mm) 最高速度:3500(mm/s) * 連續可搬重量為線速度1m/s，最大加速度5m/s?固定行程來回，不同情況會有不同。
