工作範圍X*Y軸 (mm):500*500 (雙X軸) 工作範圍Z軸(mm):100 可搬運最大荷重X軸(kg):7 (單軸) 可搬運最大荷重Z軸(kg):6 點對點驅動X*Y軸(mm/s):500 點對點驅動Z軸(mm/s):250 連續路徑驅動X*Y*Z合成速度(mm/s):400 位置重覆精度X*Y軸(mm):±0.01 位置重覆精度Z軸 (mm):±0.01