重覆精度：±0.002(mm) 最大推力：180(N) 連續推力：60(N) 連續可搬重量：15 (kg) 標準行程：N-單動子：200~-1370 / 130(mm) 標準行程： D-雙動子：145-1185/130(mm) 最高速度：2500(mm/s) *連續可搬運重量為到達線速度1m/s，最大加速度5m/s²固定行程來回，不同情況會有不同。
